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浅述扩散硅传感器具备的特点

点击次数:276  发布时间:2020-07-23
  扩散硅传感器是将被测介质的两种压力通入高、低两压力室,低压室压力采用大气压或真空,作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上,通过隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧。
  该压力传感器是由测量膜片与两侧绝缘片上的电极各组成一个电容器。当两侧压力不一致时,致使测量膜片产生位移,其位移量和压力差成正比,故两侧电容量就不等,通过振荡和解调环节,转换成与压力成正比的信号。
  下面小编要为大家介绍的是扩散硅传感器所具备的特点:
  1、适合制作小量程的传感器
  硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。
  3、精度高。由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。
  2、输出灵敏度高
  硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。
  4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片最大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能稳定,可靠性高。
  5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的扩散硅传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。
  以上就是小编今天为大家带来的全部内容了,希望能够对您有所帮助。
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